SEM/TEM样品/样品杆等离子清洗仪Tergeo

产品简述

Tergeo多功能等离子清洗仪集样品/样品杆清洗、抛光、表面处理与一体,具有高速清洗与无损清洗两种模式,操作更简单!


     

                    

                                      

                                               

 

                                                                

 

 

 

 

 

等离子清洗仪又称等离子表面处理设备,Tergeo等离子清洗仪集样品/样品杆表面清洗、抛光、处理与一体,操作简单,具有高速清洗、无损清洗两种模式。


产品用途
应用领域
产品型号

适用于SEM/TEM样品/样品杆

表面清洗、抛光及表面改性处理等

样品表面污染物处理;碳网、薄膜样品、生物样品等的清洗

 Tergeo Basic

Tergeo Plus

Tergeo-EM







产品功能特点

1. 高速清洗和无损清洗模式,根据样品随意切换



等离子高速清洗模式
样品室中充满等离子体,样品被等离子体包围。等离子体中的原子与样品表面发生化学反应,同时等离子中带有能量粒子溅射样品表面,样品通过化学反应及物理溅射完成清洗。
该模式可以快速完全清洗,适用于快速光刻胶除尘、抛光、样品表明处理



等离子无损清洗模式
等离子体产生于样品室外,样品与等离子体无接触。样品表面仅与等离子体产生的原子发生化学反应,无溅射损伤。
该模式适用于碳网、聚合物、生物样品等敏感的样品。

2. 脉冲清洗模式



脉冲清洗模式

低负荷循环脉冲模式可显著降低样品表面的等离子强度,避免样品表面的损坏

3. 实时监测等离子体强度



实时监测等离子清洗强度

Tergeo内置的等离子传感器,实时显示等离子强度。用户可根据等离子强度来调节气体流速及射频能量。用户可根据样品来设定差异化的参数,满足多种样品的清洗需求








效果展示



严重污染的物镜



清洗10min后


清洗前




清洗后







 


 

 

  

 


 

 

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